Flytande zonsmältning metod föreslogs på 1950-talet och snart skall tillämpas på kristallförberedelsetekniker. I den flytande zonen smältmetoden, är kisel stång fäst vid den cylindriska vertikala riktningen, en högfrekvens-induktionsuppvärmningsspole i en argonatmosfär, och bildandet av den nedre listen mellan smältningen av det nedre partiet koaxiellt fäst nära monokristallint ympkristall droppar, de två stängerna i motsatta rotationsriktningar. Då den smälta zonen längs längden av stången mellan det polykristallina staven och ympkristall bildas endast genom ytspänningen gradvis förflyttas uppåt, som omvandlades till en enda kristall.Sammanställt av flytande zon smältning av monokristallina kiselsyreinnehåll och låga nivåer av föroreningar, efter flera raffineringszon smältning erhållna hypoxi impedans enda kristall kisel. Om du sätta detta i monokristallina kiselreaktorer, neutron transmutation dopning av denna enda kristall kisel, förorenings fördelas mycket jämnt. Resistivitet kisel enkristall ställas genom denna metod är mycket hög, särskilt för framställning av kraftelektroniska komponenter. För närvarande mono-kisel utarbetats av flytande zon smälter endast en mycket liten marknadsandel.
Metod är en suspension med en smältmetod i en argon-fyllda reaktionskammaren för att försegla den första till en längd av ca 50 till 100 cm i den vertikala polykristallina kiselstav placeras i en högtemperatur-reaktionskammare, av värmebatteriet, kiselstaven smältning i slutet, och därefter tillsätts ympkristaller av smältområdet har smält in i smältan genom ytspänningen hos det smälta kislet hellre upphängd mellan groddkristallen och polykristallina stång, värmeslinga och sedan långsamt ökas upp till toppen av det smälta kislet och smältning av det polykristallina kiselstavdelen. Nära slutet av denna tidsperiod fröet börjar att stelna det smälta kislet för att bilda ympkristaller för samma kristallorientering. När värmebatteriet sveper över de kiselstavar, kommer att kunna göra den till en enda kristall kisel götet.
Flytande zonsmältning metod har två stora nackdelar, en av kristallsmälta gränssnittet är komplex, är det svårt att erhålla en felfri kristallskikt, den andra är den höga kostnaden för honom, eftersom det kräver en hög renhet polykristallina kiselstav som råmaterial.
|
